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반도체, 정밀전자, 정밀화학등 초정밀 분야
반도체 공장의 수질
품목
기준
Resistivity
18.2㏁이상
Partyde 0.05㎛, pcs/ℓ
1.0pcs/ℓ이하
TOC (5000MW이하)
1.0ppb이하
SiO2
Bacteria
1.0CFU/ℓ이하
Na
1.0ppt이하
Ca
Mg
Ba
Cl
5.0ppt이하
Br
Tempeature
24±1℃
Supply Pressure
4.0bar이하